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全自動(dòng)雙腔半導體快速退火爐RTP
<p><span style="text-indent: 30px; text-wrap: wrap;">RTP-DTS-8全自動(dòng)雙腔快速退火爐是在保護氣氛下的全自動(dòng)立式快速退火系統,以紅外可見(jiàn)光加熱單片 Wafer或樣品,工藝時(shí)間短,控溫精度高,適用6寸8寸片快速熱退火制程。</span></p>
桌面型快速退火爐RTP,快速熱處理退火爐
<p><span style="text-indent: 30px; text-wrap: wrap;">RTP-Table-6桌面型快速退火爐是在保護氣氛下的桌面快速退火系統,以紅外鹵素燈管加熱,精準控制升溫,保證良好的重現性與溫度均勻性,適用6寸快速退火制程。</span></p>
半自動(dòng)半導體快速退火爐RTP
<p><span style="font-family: ">RTP-SA-12半自動(dòng)快速退火爐是在保護氣下的半自動(dòng)立式快速退火系統,以紅外可見(jiàn)光加熱單片 Wafer 或樣品,工藝時(shí)間短,控溫精度高,適用 4-12 英寸片。</span></p>
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