所屬分類(lèi):微波等離子清洗機
針對半導體芯片粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、金屬鍵和前處理。
微波等離子清洗機,SPV-100MW是一種低壓微波等離子清洗系統,應用于貼片、焊線(xiàn)、封裝等工藝前的表面預處理。自由運動(dòng)的電子產(chǎn)生Plasma進(jìn)入腔體所在的料盒進(jìn)行工藝清洗。通過(guò)對真空腔體壁上的窗口施加頻率為2.45GHz的微波可以產(chǎn)生大量的持續Plasma。腔體適用于不同尺寸的料盒。