在線(xiàn)片式真空等離子清洗機產(chǎn)品原理:
片式真空等離子清洗機(Plasma cleaner),氣體通過(guò)密封容器中設置兩個(gè)正負電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現一定的真空度,隨著(zhù)氣體愈來(lái)愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(cháng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,等離子體轟擊產(chǎn)品表面,清洗產(chǎn)品表面污染物,提高表面活性,增強附著(zhù)性能。
專(zhuān)為半導體行業(yè)設計的在線(xiàn)真空等離子清洗機。針對封裝工藝中的引線(xiàn)框架上點(diǎn)膠裝片、芯片鍵合、除膠及塑封等工藝前清洗,大大提高粘接及鍵合強度等性能的同時(shí),避免人為因素長(cháng)時(shí)間接觸引線(xiàn)框架而導致的二次污染以及腔體式批量清洗時(shí)間長(cháng)有可能造成的芯片損傷。