在半導體器件的制造中，歐姆接觸是實(shí)現高性能電路的核心技術(shù)之一。

RTP技術(shù)能夠有效修復晶格損傷，提供更加穩定、均勻的歐姆接觸，確保器件的穩定性和可靠性。

一、氮化鎵（GaN）歐姆接觸

氮化鎵（GaN）材料因其寬禁帶和高擊穿場(chǎng)強的特性，在功率電子和射頻器件中備受關(guān)注，但其歐姆接觸的形成極具挑戰：

1.高勢壘問(wèn)題

GaN的寬禁帶性導致金屬與半導體界面存在高勢壘，傳統退火工藝無(wú)法有效降低接觸電阻

2.金屬選擇局限

傳統金屬（如Ti/Al/Ni/Au）需通過(guò)退火觸發(fā)化學(xué)反應，形成低勢壘合金（如TiN、AlGaN等）

3.熱敏感性與工藝失衡

GaN在高溫下易分解，而低溫又無(wú)法激活金屬/GaN界面反應

良好的歐姆接觸圖形邊緣應保持平整，電極之間不應存在導致短路的金屬粘合，退火完成后不會(huì )出現金屬的側流。

*（左）退火前歐姆接觸形態(tài) （右）退火后歐姆接觸形態(tài)（圖源網(wǎng)絡(luò )，侵刪）

在對GaN歐姆接觸進(jìn)行退火處理時(shí)，退火溫度的控制尤為重要，溫度精準度差會(huì )導致電阻率的增加以及電流的減小。

*比接觸電阻率與退火溫度的函數關(guān)系（圖源：知網(wǎng)，侵刪）

其中，退火溫度過(guò)高可能導致氮化鎵材料的損傷或金屬電極的熔化；溫度過(guò)低時(shí)會(huì )導致金屬與半導體之間形成較高的勢壘，阻礙載流子的傳輸。

二、晟鼎RTP快速退火爐優(yōu)勢

針對制成GaN歐姆接觸的難點(diǎn)，晟鼎RTP快速退火爐提供以下解決方案：

1.精準的溫度-時(shí)間控制：

滿(mǎn)足GaN的熱敏感性，可減少金屬層在高溫下的擴散時(shí)長(cháng)，抑制界面過(guò)度反應

2.強大的溫場(chǎng)管理系統：

良好的溫度重現性與溫度均勻性，避免接觸電阻分布不均

3.熱預算低，升溫速率快：

升溫速率可達150℃/s，制程范圍覆蓋200-1250℃，有效節省工藝時(shí)間和熱預算成本

4.動(dòng)態(tài)氣體調控：

晟鼎RTP快速退火爐最多可配置6組工藝氣體，實(shí)現退火腔室內氣體的快速切換，確保退火處理的穩定性